吉时利 Keithley 2636B 双通道系统数字源表 SMU 0.1fA 半导体器件 I-V 参数测试
吉时利 Keithley 2636B 双通道系统数字源表 SMU 0.1fA 半导体器件 I-V 参数测试
产品特点
双通道独立 SMU 架构，两路通道互不干扰，可同步对器件两个端口施加激励并采集信号，适合 MOSFET 栅漏同步测试、双器件并行测试，提升测试效率
超高测量灵敏度，电流分辨率 0.1fA，电压分辨率 100nV，6½ 位分辨率，可精准捕捉极微弱漏电流、待机电流
直流 30W、脉冲峰值 200W，脉冲电流最高 10A，最高电压 200V，四象限源 / 阱工作模式，支持吸收与输出功率
内置 TSP 测试脚本处理器，测试脚本可在仪器本地运行，减少电脑与仪器之间通讯延迟，测试速度更快
标配 TSP-Link 高速扩展接口，多台仪器级联，同步精度小于 0.5μs，可扩展至最多 64 通道，搭建大规模并行测试系统
配备三轴同轴连接器，屏蔽性能优异，保障 fA 级小电流测量稳定，降低外部干扰
支持四线远程感应 Remote Sense，消除引线电阻压降误差，保证测量准确度
高速读数采集，最高 20000 读数 / 秒存入内存，支持接触检查、数字 I/O、触发同步功能
兼容 SCPI 指令、LabVIEW、Python 等开发环境，适配自动化测试平台、半导体参数测试系统集成
核心规格
型号：KEITHLEY 2636B
通道：双通道独立 SMU
最大电压：200V
直流功率：30W / 通道
脉冲峰值功率：200W，脉冲电流最大 10A
电流测量分辨率：0.1fA
电压测量分辨率：100nV
显示分辨率：6½ 位
总线接口：TSP-Link、LAN、USB、数字 I/O
触发同步：多节点同步典型 < 0.5μs
存储采样速率：最高 20000 读数 / 秒
应用场景
MOSFET、二极管、SiC/GaN 宽禁带功率器件 I-V、击穿、导通电阻测试；
CMOS 集成电路 IDDQ 静态漏电流、待机功耗测试；
光电探测器、光伏器件、传感器弱电流表征；晶圆来料参数测试、器件失效分析；
高校半导体科研、材料电学特性测试；芯片量产自动化分选测试系统搭建。
FAQ
Q：KEITHLEY 2636B 和 2634B 的区别是什么？
A：两者都是双通道机型；KEITHLEY 2636B 电流分辨率可达 0.1fA，2634B 为 1fA，且 2634B 无 TSP-Link、接触检查等功能，微弱电流测试优先选择 KEITHLEY 2636B。
Q：KEITHLEY 2636B 和 2635B 怎么选？
A：2635B 是单通道，KEITHLEY 2636B 是双通道；需要同时测器件两个电极或者并行测试多个样品，选 KEITHLEY 2636B。
Q：KEITHLEY 2636B 能不能搭配半导体参数测试软件？
A：可以，兼容 KickStart 软件，也可对接 4200-SCS 系统，完成参数提取、曲线绘制与数据分析。
Q：脉冲输出的脉宽是否可以设置？
A：支持可编程脉冲输出，适合器件动态特性测试，脉冲模式可规避器件自热效应。
Q：可以多台 KEITHLEY 2636B 同步联动吗？
A：支持，依靠 TSP-Link 总线实现多机紧密同步，适合多引脚器件并行测试。
